俄罗斯芯片自研龙套，开发 350nm 光刻机。

俄罗斯芯片行业的发展并非一帆风顺。

早在 2013 年，俄罗斯超等操办机制造商 T-Platforms 就因本领出口问题遭到好意思国封禁。为了解脱对好意思国 X86 平台的依赖，俄罗斯启动押注 MIPS 和 ARM 架构，建造了专注处理器研发的公司—— Baikal Electronics。

然而，受限于俄罗斯自身的芯片制造才气，Baikal 的处理器只可依赖台积电代工。2021 年，好意思国对俄罗斯实施新一轮制裁，导致 Baikal 的芯片出产操办全面受阻。原来操办在 2022 年和 2023 年冉冉量产的 Baikal-S 也因此停摆。更为严重的是，部分已出产的芯片因制裁无法寄托俄罗斯，这无疑是雪上加霜。

最终，在多重压力下，Baikal Electronics 于 2023 年文书歇业，这款俄罗斯芯片似乎注定难逃早死的行运。

然而，近日 Baikal-S 的记忆让这一切从头燃起但愿。

Baikal-S 处理器芯片

尽管其 16nm 工艺无法与面前的 5nm、3nm 本领比拟，但 Baikal-S 在某些特定规模一经达到了实用水平，足以知足中低端处事器和特定工业诈欺的需求。

关于俄罗斯而言，这款处理器的价值不仅在于本领性能，而更在于其标记意旨。

正如许多东谈主所说，"有些东西，独一是我方的，才用得省心。"

无人不晓，在海外半导体产业链中，结合是完结本领龙套的紧要途径。然而，受制于制裁和地缘政事身分，俄罗斯难以像其他国度那样通过海外结合完结本领飞跃。这意味着，俄罗斯必须在有限的要求下孤苦发展联系本领。

除了芯片除外，光刻天真作芯片制造中的关键中枢，其本领复杂度和精密程度决定了芯片的制造才气。在这个规模，荷兰的 ASML 一直是当之无愧的王者，凭借其先进的极紫外光 ( EUV ) 光刻机本领，在寰球高端光刻机市集上占据主导地位，险些把持了 7nm 及以下先进制程芯片的出产。此外，佳能和尼康也在积极布局，试图在光刻机规模保有一隅之地。

跟着俄乌干戈的纠缠，泰西的新一轮制裁加重了俄罗斯的缺"芯"程度，加快了俄罗斯自建孤苦芯片产业的决心和过程。因此，光刻机成为了俄罗斯要点讲理的焦点，竭力在这一关键本领规模完结自主可控。

俄罗斯光刻机发展历程纪念

面对西方国度的本领封闭，尤其是 ASML 等光刻开采供应商的出口禁令，俄罗斯政府制定了巨大的芯片产业发展蓝图，旨在通过普及原土化出产才气，减少对外部本领的依赖。

这一政策主见在 2024 年取得了内容性的效果，即首台 350nm 光刻机的问世，意味着俄罗斯在半导体产业链上上前迈进了一大步。

但俄罗斯首台光刻机的出身并非一蹴而就，而是资格了永久的本领累积和鼓舞。

实验上，早在上世纪 70 年代，那时的苏联就一经掌执了 EUV 影相光刻的本领。即使在苏联解体后，俄罗斯的科学家们也一直在该规模肃静汲引，为 "EUV 光刻机 " 的关键本领开发作念出了紧要孝敬。

事实上，EUV 光刻机领有三大中枢本领——光源、投影物镜、工件台。其中最大的难点在于光源，俄罗斯恰是这一规模的杰出人物。

海外光源三巨头除了德、日，另一个即是俄罗斯的圣光机。荷兰 ASML 商讨 EUV 光刻机时就使用了俄方本领，比如早期商讨的光源表面来自俄罗斯科学院，同期俄罗斯向其提供了巨额的光学器件。直到今天，ASML 还和俄科院光谱学商讨所（ISAN）仍保持着密切结合，在 EUV 光源产物上，就连英特尔、台积电王人离不开俄方结合。

此外，俄罗斯科学院的微结构物理商讨所还为荷兰开发了多层镜制造本领，这在那时算得上是一个了不得的成立。

除了光源，在职责台方面俄方也有"后台"。白俄罗斯的 Planar 是东欧最大的半导体公司，其总司理曾暗示："全宇宙独一两家公司粗略出产机灵度高达 06-0.15nm 的传感器，一家来自好意思国，另一家即是咱们。"

从以上梳理不丢丑出，俄罗斯在 EUV 光刻光源中枢本领上，的确一经领有了一定基础，联系科研机构在 ASML 所动员起来的泛欧 EUV 攻关收蚁集有着永久而潜入的参与。

天然不行否定，其各项本领产业化水平还不高，更多停留在基础商讨和样件试制阶段，在作念出自主研发 EUV 光刻机的决策后，把表面落实到工程无疑还有很长的路要走，不外俄罗斯的努力，依然值得咱们密切讲理与模仿。

时分来到 2010 年，彼时的 ASML 一经将第一台预出产的极紫外（EUV）光刻机出货，而这时俄罗斯一个物理商讨所 IPM 也正在研发极紫外光刻机的系统和原件，甚而一经弄出来了安设原型的搭建。然而，俄罗斯的这个名目还在布局阶段就一经宣告扫尾了。

情理其实很简便，首当其冲地即是西方国度对俄罗斯实施的本领禁运和制裁，无疑会给他们的研发带来困难。尤其是俄乌冲突爆发以来，好意思国汇集欧洲国度对俄罗斯实施了全地点、全规模的制裁。一个国度基本无法单独研发 EUV 光刻机，而 ASML 之是以能完成，是因为它背后是全宇宙供应商的群策群力。

然而，在面对海外制裁和本领封闭的连接影响下，尽管俄罗斯在光刻机规模受到重重阻碍，但依旧莫得罢手探索的标准。

"朝阳"初现，奏效推出 350nm 光刻机

多年来，通过国度实验室和科研机构的守旧，俄罗斯光刻开采制造企业通过不停攻克关键本领难题，冉冉完结了一系列龙套。

2022 年，俄罗斯科学院下诺夫哥罗德诈欺物理商讨所 ( IPF RAS ) 文书，正在开发俄罗斯首套半导体光刻开采，并对外夸下海口：这套光刻机粗略使用 7nm 出产芯片，可于 2028 年全面投产。

那时，IPF RAS操办在六年内打造出俄罗斯自产 7nm 光刻机的工业样机，2024 年将创建一台" Alpha 机器"，2026 创建 " 测试机 "，2026-2028 年俄罗斯原土光刻机将取得更坚强的放射源，改进的定位和进给系统，并将启动全面的职责，2028 年，这些开采全面运行。

时隔两年，俄罗斯固然距离 2028 年自产 7nm 光刻机的"海口"距离尚远，但这一承诺已初现朝阳。2024 年 5 月，俄罗斯联邦工业和生意部副部长瓦西里 · 什帕克（Vasily Shpak）阐述，第一台能出产最大 350nm（行业惯称 0.35μm）芯片的光刻机已奏效拼装并进入测试阶段，符号着俄罗斯在芯片制造规模取得内容性龙套。

俄罗斯接下来的主见是在 2026 年制造不错守旧 130nm 工艺的光刻机。再下一步，俄罗斯将赓续冉冉向 90nm 及以下迈进。

尽管相较于目下寰球主流的先进水平，如 5 纳米、7 纳米工艺，俄罗斯的这一效果尚显落伍，但其在特定规模仍具有实验诈欺价值。尤其是对俄罗斯而言，350nm 芯片虽不如当代顶端产物先进，但足以知足汽车、动力、电信等特定行业需求，且资本效益高，出产周期短，踏实性经时分锻练。

这也符号着俄罗斯在追求半导体产业自主性方面迈出了一大步。在寰球半导体供应链垂危、地缘政事复杂多变的布景下，这项成立为俄罗斯减少对外部本领的依赖提供了可能。

电子工程宇宙对此有报谈指出，350nm（0.35μm）出身于 1995 年，当今依然领有产物诈欺，主如若一些不太刚需制程的特色工艺产物，比如模拟芯片、功率半导体、传感器或者低端 MCU、军工产物。

动作对比，半导体制程工艺发展史简便总结如下：

1971 年，10μm 工艺是那时最高工艺，代表芯片是 Intel 1103 DRAM、4004 CPU（1971）、8008 CPU（1972）;1974 年，步入 6μm 工艺，大名鼎鼎的 Intel 8080 便取舍这一制程；1977 年，3μm 工艺开启元年，从此 x86 处理器 Intel 8086（含 8085、8088）认真出身；1982 年 1.5μm 工艺用在 Intel 80286 上，1985 年 1μm 工艺用在 Intel 80386 上，1989 年，0.8μm 工艺用在 Intel 80486 上；1995 年，0.35μm（也即是 350nm）工艺开启元年，Pentium P54CS、IBM P2SC（1996）、IBM POWER3（1998）王人取舍了这一工艺；1997 年，主节点为 0.25μm 工艺，启动引入海外半导体本默契线图（ITRS）主节点和半节点界说，即：1998 年半节点 220nm 工艺，1999 年主节点 0.18μm 工艺（180nm），2000 年半节点 150nm 工艺；2001 年，130nm 是那时的主节点，典型芯片是 130nm 的奔腾 3 处理器，2002 年半节点为 110nm 工艺；2004 年，步入 90nm 元年，英特尔、英飞凌、德州仪器、IBM、联电和台积电基本王人能达到 90nm，典型芯片包括 90nm 的奔腾 4 处理器；2012 年，制程步入 22nm 阶段，此时英特尔，联电，联发科，格芯，台积电，三星等厂商王人具备出产才气；2015 年联电留步于 14nm，2017 年英特尔卡在了 10nm，2018 年格芯废弃 7nm，此时先进制程的战场只剩下台积电和三星；2019 年 6nm 量产导入，2020 工艺 5nm 启动量产，而国内也启动量产 14nm 芯片；2024 年，跟着英特尔启动从头醉心制程本领，英特尔、台积电、三星正在争夺 2nm 的先发地位。

俄罗斯工业和生意部并不认为莫得掌执更先进的工艺有什么问题，Vasily Shpak 认为，

关于现阶段的俄罗斯来说，这台光刻机的问世不仅不错使其一定程度解脱西方制裁，更赐与了俄罗斯国内极大的信心，将来将大幅减少对外依赖。

俄罗斯光刻机，再曝新弘扬

关于高端光刻机攻关，不少东谈主抱有着一种朴素的信念：既然 ASML 一经讲授了 LPP-EUV 本默契线走得通，就好像一起别东谈主一经解出来的难题，动作亦步亦趋的其后者只消资源参加饱和多，再复杂的工程问题也总能管理。

这么的想法，如实在大部分情况下王人是建造的，学习消化再立异的效果不必置疑。但与此同期，集成电路、工业软件、量测仪器等规模存在的"卡脖子"现象足以教唆咱们，某些关于基础表面累积要求很高的门径，"表面不够，工程来凑"也有其局限性，旨趣联合不充分的情况下，工程资本、进程乃至最终截止将面对巨大不征服性。

深谙此谈的俄罗斯，依托其在高能激光、等离子体物理基础商讨上的累积，在光刻机研发上取舍了一条颇具特色和"章法"的新路。

据 cnews 近日音书报谈，俄罗斯科学院微结构物理商讨所（IPM RAS）提倡了一项新操办，旨在制造比荷兰 ASML 公司更经济、更高效的光刻机。

据先容，该光刻机旨在打造"高性能 X 射线光刻发展新意见"，俄罗斯取舍不统统复制 ASML 的本默契线，而是开发职责波长为 11.2nm 的新式光刻开采，而非 ASML 的 13.5nm，以缩小研发资本并简化制造历程，并将开采的分辨率提高 20%。

俄罗斯有繁密机构，在参与这项复杂强大的名目

此外，IPM RAS 操办用氙代替锡动作激光等离子光源，这将显耀减少光学元件的混浊，并延迟崇高零部件如反射镜和保护膜的使用寿命。

该操办分为三个阶段：

第一阶段：本领龙套进行科学商讨与工程设想，管理关键本领难题，提倡矫正本领管理决策的建议。制定结合框架和开采清单，为后续阶段奠定基础。创建光刻实验样本，以测试确凿本领历程中的总计元素，开发抗蚀剂并开发使用 X 射线光刻变成纳米结构的本领。

NCFM 参与了波长为 11.2nm 的光刻机的开发（来自 NCFM 演示的框架）

第二阶段：实验考证制造用于测试的实验性光刻开采，并整合 X 射线光刻本领。集成高效多镜头投影系统和多千瓦激光器，用于 200/300 毫米晶圆的工艺测试。第三阶段：产业化开发相宜工业诈欺的高性能光刻开采，操办量产直径 300 毫米晶圆的开采，出产才气超每小时 60 片。

文献中莫得指定各个阶段的时分安排。

不外，CNews 报谈了 RAS 诈欺物理商讨所于 2022 年 10 月启动进行光刻职责的情况。展望到 2028 年，该开采将全面运行，粗略出产使用 7nm 拓扑的芯片，效力展望比 ASML 光刻机高 1.5-2 倍。

为了守旧这又名目，俄罗斯科学院一经向其提供了约 100 亿卢布的信贷守旧，并资助了两家企业，永别是在集成电路成套工艺方面最初的 Integral 公司和在精密光刻开采规模领有丰富教学的 Planar 公司。

此前，俄罗斯政府启动了一项国度操办，俄罗斯工业和生意部在 2023 年 10 月提倡了一份道路图。证据该道路图，俄罗斯将在 2028 年启动量产 28nm 芯片，并在 2030 年启动出产 14nm 芯片，对尽可能多的番邦芯片进行逆向工程，并培养原土着才从事国产芯片替代职责。

同期，据俄罗斯媒体征引俄新社报谈，圣彼得堡理工大学的商讨东谈主员开发了一种国产光刻复合体，包括两个开采，一个是在基板上进行无掩膜的光刻安设，另一个是硅的等离子体化学蚀刻开采。

该开采的资本令业界讶异，用于无掩膜光刻的开采资本仅为 500 万卢布（约合 36.6 万东谈主民币），另一种器用的资本暂未公开。要知谈，一台 ASML 的 DUV 价钱是 8000 万好意思元（约合东谈主民币 5.8 亿元），而 EUV 价钱更是高达 1.9 亿好意思元（约合东谈主民币 12 亿元）。价钱悬殊可谓巨大。

从本领想路上来评价，取舍无掩膜光刻，意味着物镜系统不错得到很大简化，EUV 光反射次数更少，损耗天然更小，连带着对光源输出功率的要求也不错放宽，因此不管取舍锡源的传统决策如故氙源立异决策，至少 ASML 在普及光源功率和可儿惜性上奢靡的天量资金、十余年时分以及累积的巨额独家 knowhow 有但愿被绕开。

MEMS 微镜调制的图案只需三片反射镜就粗略投影于晶圆

这一研发效果关于俄罗斯芯片的自力重生至关紧要，圣彼得堡理工大学的巨匠暗示，这将使"管理俄罗斯在微电子规模的本领主权问题"成为可能。

俄罗斯开发的全新 EUV 光刻机，将操办使用 X 射线本领，不需要光掩膜就能出产芯片（当今 ASML 的 EUV 光刻机使用的是极紫外光）。

与传统光刻本领比拟，X 射线光刻机不管是在经济资本如故时分资本方面，这项本领王人低廉得多，因为传统光刻本领需要使用专诚的光掩膜来获取图像。而 X 射线光刻机则不需要光掩膜，不错直写光刻，因此省俭了一大笔用度。

此外，X 射线光刻机使用的 X 射线，波长介于 0.01nm 到 10nm 之间，比 EUV 极紫外光还要短，因此光刻分辨率要高好多。

将来俄罗斯光刻机与现存 ASML 光刻机的性格对比

该表将 ASML 制造的 TWINSCAN NXE:3600D 光刻机的主要参数与 IPM RAS 正在开发的光刻机的预期参数进行了比较。不错看出，平均激光功率为 3.6 kW，波长 11.2nm 下的预期性能将比 ASML 光刻机低约 2.7 倍。

有巨匠指出，"关于非头部工场来说，这个值一经饱和了，斟酌到芯片上的总计层中，X 射线光刻仅用于几个关键层的变成。因此，这一意见的奏效实施将完结在不糟跶分辨率的情况下提高用户 X 射线光刻的可及性的主见。"

事实上，早在 2022 年 4 月，俄罗斯媒体就报谈称，莫斯科电子本领学院 ( MIET ) 邻接了贸工部开发制造芯片的光刻机名目，该名目由俄罗斯政府首期投资 6.7 亿卢布资金（约合 5100 万元东谈主民币）。研发的光刻机操办达到 EUV 级别，但本领旨趣与 ASML 的 EUV 统统不同，是基于"同步加快器和 / 或等离子体源"的无掩模 X 射线光刻机。

2023 年 3 月，俄罗斯科学院微结构物理商讨所多层 X 射线光学系主任 Nikolai Ivanovich Chkhalo 在会上发表了一份诠释" EUV 光刻：俄罗斯发展的原则、近况和道路图"。在修起关联推行经典 EUV 光刻和无掩模光刻的问题时，Nikolai IvanovichChkhalo 暗示，在俄罗斯目下的商讨框架和才气范围内，创造出 MEMS 振镜是不行能完成的任务。尽管进行了十年的商讨，但仍无公法东谈主舒坦地开发该本领。另一个本领标的——四百层 X 射线透镜——俄罗斯有可能创建它。

尽管领有上风，但 X 射线开采的出产才气和效力与 ASML 的机型比拟仍显不及，不外在特定场景或小限度芯片出产中具有实用性。

俄罗斯科学院微结构物理商讨所副长处尼古拉 · 奇卡洛暗示，动作光刻本领的寰球带领者，ASML 已研发其 EUV 光刻系统近 20 年，该本领已被讲授绝顶复杂。况兼，晶圆开采不仅限于光刻机，还需要有其他类型的开遴选于践诺蚀刻、千里积、光刻胶去除、计量以及检讨操作，此外还有一些不太先进的开采，这些大部分王人来自于西方市集。

也即是说，即使俄罗斯奏效制造出光刻机，仍需要数百台开采来建造一座当代化晶圆厂，而目下西方一经绝对堵截了对俄罗斯的供应。但不管怎么，俄罗斯为了完结半导体产业自主可控，滥觞加大了对光刻机规模的参加和守旧，尽管目下 350nm 的工艺并不先进，但关于此时的俄罗斯来讲一经绝顶紧要了。

俄罗斯在光刻机本领规模固然面对本领封闭和东谈主才不及的挑战，但凭借国度政策的守旧、本领累积和海外结合，冉冉在这一关键本领规模取得了弘扬。

将来，俄罗斯将赓续加大对光刻开采本领的研发参加，努力完结从中低端到高端开采的进步式发展。通过连接的立异和迢遥的海外结合，俄罗斯有望在光刻机本领规模取得更大龙套，为寰球半导体产业的发展作出积极孝敬。

曩昔微电子霸主，能否重拾后光？

苏联曾是宇宙上微电子本领最坚强的国度之一，甚而一度最初好意思国。然而，苏联解体后，巨额科研东谈主才前去好意思国，俄罗斯在经济衰退、政事不稳的现象下，微电子产业也渐渐走向凋残。

尽管如斯，以及多年来面对西方制裁，包括资金不及和东谈主才匮乏等诸多逆境，俄罗斯并莫得就此摆烂，为了幸免本给与制于东谈主，这些年来依然在潜心搞研发，渴慕动须相应扭转形式。

尤其是在光刻本领上，俄罗斯决心通过立异道路图来龙套目下的困局，并但愿在 2028 年前完成研发职责。若这一进程凯旋，俄罗斯可能会成为中袖珍芯片制造商的紧要开采供应商为寰球芯片出产提供新取舍，也为通盘行业花式带来新的变化。

总体而言，面对卡脖子，俄罗斯相持自主研发、独辟门路的精神依然值得敬佩。俄罗斯这一光刻机的研发标的在本领上具有一定的立异性，若能克服各项挑战，的确在 X 射线光刻本领上取得龙套，将可能重写寰球半导体产业的竞争态势。跟着芯片制造的需求不停增长，这一新兴市集关于本领自主权和性价比优化的要求也更加贫困。

将来，俄罗斯有望在寰球芯片制造竞争中占据一隅之地，成为新兴市集的紧要参赛者。俄罗斯绕开 ASML 的本领钳制，关于我国半导体产业的发展亦然一个启发。

但比拟之下，我国科技界、产业界对俄罗斯的意志，似乎还普遍有所滞后。在一篇分析中俄科技立异合气魄险挑战的泰斗著述中，作家忧心肠指出："俄罗斯在基础商讨、核能本领、空间科学本领、新材料、生物本领等繁密规模领有淳朴实力并取得了令东谈主珍爱的得益，但我国某些产业界，甚而科技界自己对俄罗斯科技水平王人阑珊饱和意志和应有评价，存在诽谤俄罗斯科技实力而盲目严防西方的倾向，在寻求科技结结伙伴时，常常优先斟酌好意思、欧、日，对俄罗斯却不予醉心，时常多方寻觅无果后才把眼神转向俄罗斯，迟误了结合时机"。

值得提防的是，跟着俄乌冲突爆发，俄罗斯科技界正常的海酬酢流行径遭到了全面围堵打压，从奥数竞赛到学术会议，"将俄罗斯科学与海外结合守密的企图将反应在总计主见中"，当数百名俄罗斯科学家被从欧洲核子商讨中心（CERN）驱散，符号着这种歇斯底里的抑制达到了偏激。

但也恰是在这种刺激下，俄罗斯科学商讨与高本领产业发展，似乎正开心出新的现象，或者说，从头唤起一种民族的坚硬韧性。在工业母机、关键软件等规模，俄罗斯国产替代职责业已全面铺开。

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